要想保持光学轮廓仪具有成本效益且不过时，就必须确保它能满足不断变化的计量需求。物镜是 ZYGO 的 CSI 轮廓仪的核心，在视野、横向分辨率和可测量斜率方面提供了灵活性。出于这个原因，ZYGO 致力于开发各种各样的干涉测量物镜，它们从 1X 到 100X 不等，并且种类还会随着时间的推移而不断增加。

这些多样化的物镜提供了从 0.4mm 到 17mm 以上的业内的视野范围。  除了视野之外，ZYGO 的物镜是齐焦的，因此它们可以以各种方式组合在一起，提供了较大的应用灵活性。  一些特定应用的配置和配件包括：

· 长工作距离（LWD）和超长工作距离（SLWD）型号，它们的间隔距离分别为 20mm 和 40mm，适用于凹陷、受阻和其他难以接近的表面。

· 玻璃补偿（GC）LWD 物镜可用于在透明保护窗下测量样品。

· 快换单物镜燕尾榫，以及手动和电动编码的物镜转台，可以安全、快速、轻松地在不同的物镜之间切换

追求精密

确保物镜的较佳成像对计量性能至关重要。  作为一家有着深厚光学制造和计量经验的公司，ZYGO 认识到了这一点，对所有的物镜进行精确聚焦，确保在光学聚焦和干涉聚焦之间实现精确的匹配，这也是 ZYGO 与其他制造商的主要区别。

此外，·九游会·还提供一些真正的物镜物镜选择，如Zygo 大视野范围物镜（ZWF）1.4X。  这款独特的物镜结构紧凑，提供了一个大视野范围，易于与塔台上的其他物镜组合，可在一设备上实现多种类型的测量要求。